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黒鉛保護用TaC成膜を効率化
三井金属のiconos活用で

[三友新聞 2026年10月8日号 より]

三井金属(池信省爾社長)は、レアメタルを溶液化した材料「iconos(イコノス)」シリーズにおけるTaC(炭化タンタル)コーティングについて、溝や孔、凹凸などを有する複雑形状の黒鉛部材へ適用可能な技術を開発した。

半導体結晶成長装置では、結晶の台座やヒーター、溶けた原料を結晶として成長させる容器、反応ガスを均一に広げる多孔板などに黒鉛が使われおり、耐久性向上のため表面をTaCで保護している。TaC被膜の形成には一般的に、原料のガスを基板表面で化学反応させて成膜するCVD法が使われてきたが、複雑形状部材では表面全体に均一で密着性の高い皮膜を形成することが難しく、納期やコスト面で課題があった。

これに対し三井金属は、iconosによる独自のコーティング技術を用いることで、液体材料が黒鉛基材表面で均一に反応し、薄く緻密なTaC被膜を形成できるようにした。液体材料の高い塗布性により複雑形状の黒鉛部材にも適用可能。CVD法と比較して工程を簡素化できることで、短納期化も実現する。

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