三機工業（名古屋和宏社長）は、空気中に浮遊する微粒子を一定数以下に抑えて清浄度を保つ「クリーンルーム」用に、水が気化する際の効果を応用するシステムを開発した。クリーンルームの性能維持と省エネルギー化に寄与する。

三機工業は2005年からクリーンルーム向け加湿システムの開発を継続的に行い、これまでに複数の方式を実用化してきた。従来は加湿器のオン・オフ制御で湿度を調整するのが一般的だったが、今回開発したシステムでは、室内の湿度に合わせて気化式加湿器を通過する風量を調整する仕様とすることで、湿度調整の精度を向上させる。

また、水の気化に伴い空気が冷却される効果を空調システムに活用することで、ドライコイルの負荷を低減し、クリーンルーム空調用冷熱源のエネルギー消費が年間10％削減できる。

さらに、加湿をクリーンルーム内の必要な場所で必要な量だけ行うことで、外気を採り入れる際に温度・湿度の大まかな調整をする「外調機」の加湿負荷を低減できる。特に冬期においては低温の外気を加湿するためのエネルギー消費がかさむが、必要な昇温量が減少し、その一部を生産装置から発生する廃熱でまかなうことで、外調機で使用する温熱源エネルギーを最大50％削減できる。

三機工業は、今回開発した新加湿システムの性能検証を目的に、三機大和ビル内に試験設備を構築した。同設備を活用し、さらなる性能向上に資する技術開発に取り組むとしている。