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ガス管内の微粒子をカメラで計測
新日本空調、非接触でのモニタリングを可能に
[三友新聞 2024年10月10日号 より]
新日本空調(廣島雅則社長)はガス中に含まれる微粒子をカメラで計測する「パーティクルアイCC」を開発した。半導体製造現場などの工場では様々なガスが使用されており、従来の「パーティクルカウンター」(粒度分布測定装置)を用いて流れるガス中の粒子数や大きさを計測する場合、一般的な吸引サンプリング方式では高温・高圧ガスなど種類によってはガスを吸引できない場合があった。
「パーティクルアイCC」は非接触のまま、透明窓越しに対象ガスへ光を照射。ガス管を通過する全微粒子の反射光(散乱光)を外部カメラで撮影した後、独自技術により散乱光量をリアルタイムで計測処理し、粒径分級の画像化及び粒径別粒子数をグラフ化することができる。特定の閾値を超えた場合には動画記録する機能を備え、記録容量を節約することで長期間のモニタリングが可能な仕様にした。
案件に応じてカスタマイズする受注生産のため、価格は未設定。基本パッケージには標準カメラと主要機能を搭載しているほか、ガスの速度や配管サイズに応じた最適なカメラの選択や閾値を超えた際の信号出力などがオプションで対応可能だ。
新日本空調は、「従来の計測技術では困難であった対象ガスに対しても高感度な常時粒子モニタリングの新たなアプローチを提供する」としている。